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マスフローコントローラ

概要

説明

マスフローコントローラは、液体の質量と流量を測定し、流量を制御します。この装置は、半導体製造装置とバーナーのガス制御に使用されます。RX72M 32 ビットマイクロコントローラ (MCU) には内蔵メモリ、EtherCAT や制御ネットワーク(CAN) のインタフェースが豊富に搭載されています。このリファレンスデザインでは、システム制御と産業用ネットワークをワンチップで制御できます。

このシステムのメリット:

  • RX72M MCU には EtherCAT スレーブコントローラと CAN が装備され、産業用ネットワークに対応します
  • EtherCAT、DeviceNet サンプルソフトウェアなどの産業用ネットワークソリューションを提供します

製品比較

アプリケーション

ウィニング・コンビネーションのインタラクティブダイアグラム

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Template 1 Connector Line Connector Line.181 Connector Arrow JP123 JP123 JP123 3.3V.52 3.3V 3.3V Buck Regulator Buck Regulator Buck Regulator 24V 24V 24V Input arrow EEPROM EEPROM EEPROM Bi-directional Transceiver Transceiver Transceiver Bi-directional.68 Connector Arrow.69 Connector Arrow.70 Connector Arrow.72 Op Amp Op Amp Op Amp Flow Sensor Flow Sensor Flow Sensor Connector Line.75 Flow Signal Flow Signal Flow Signal Connector Arrow.77 Bi-directional.78 To Bus To Bus To Bus PHY PHY PHY PHY.81 PHY PHY Piezo Actuator Piezo Actuator Piezo Actuator Bi-directional.83 Bi-directional.84 Bi-directional.85 Bi-directional.86 Bi-directional.87 Sheet.129 Sheet.89 Sheet.128 Sheet.90 Sheet.91 Sheet.92 Sheet.93 Sheet.94 Sheet.95 Sheet.96 Sheet.97 Sheet.98 Sheet.99 Sheet.100 Sheet.101 Sheet.102 Sheet.103 Sheet.104 Sheet.105 Sheet.106 Sheet.107 Sheet.108 Sheet.109 Sheet.110 Sheet.111 Sheet.112 Sheet.113 Sheet.114 Sheet.115 Sheet.116 Sheet.117 Vertical Wire Bundle Label Text 10pt.1046 Sheet.132 LED LED LED MOSFET Sheet.156 N-Channel MOSFET Sheet.135 Sheet.136 Sheet.137 Sheet.138 Sheet.139 Sheet.140 Sheet.141 Sheet.142 Sheet.143 Sheet.144 Sheet.145 Sheet.146 Sheet.147 Sheet.148 Connect.50 Sheet.150 Sheet.151 Sheet.152 Connector Arrow.158 Connector Arrow.161 EtherCAT EtherCAT EtherCAT Connector Arrow.163 Gas Flow Gas Flow GasFlow 3.3V 3.3V 3.3V Sheet.177 Sheet.168 Sheet.169 Sheet.170 Sheet.171 Sheet.172 Sheet.173 Sheet.174 Sheet.175 Connector Arrow.178 Connector Line.182 Connector Line.183 Valve Valve Valve Sheet.185 MCU MCU MCU EtherCAT Slave EtherCAT Slave EtherCAT Slave GPIO GPIO GPIO UART UART UART UART UART UART I2C I2C I2C 12 bit ADC 12 bit ADC 12 bit ADC
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