ルネサス エレクトロニクス株式会社（代表取締役社長兼ＣＥＯ：柴田 英利、以下、当社）の生産子会社であるルネサス セミコンダクタ マニュファクチュアリング株式会社の那珂工場（茨城県ひたちなか市）のＮ３棟（300㎜ライン）の一部工程において、2021年３月19日午前２時47分に火災が発生し、同日午前8時12分に鎮火しました。
これまでニュースリリースで第三報までお知らせをしていますが（注）、これら情報をまとめ、現時点（2021年３月22日午前８時）までに判明している事実と業績影響について下記のとおりお知らせします。（第三報からの更新情報はありません。）
（注）2021年３月19日「半導体製造工場（那珂工場）の火災発生に関するお知らせ」
2021年３月20日「半導体製造工場（那珂工場）の火災発生に関するお知らせ（第二報）」
2021年３月21日「半導体製造工場（那珂工場）の火災発生に関するお知らせ（第三報）」
記
１．発生場所
茨城県ひたちなか市堀口751
ルネサス セミコンダクタ マニュファクチュアリング株式会社 那珂工場Ｎ３棟(300㎜ライン)１階
２．発生日時および現況
３月19 日（金）午前２時47分頃 火災発生 その後、消防、警察、他関係機関へ連絡
３月19 日（金）午前８時12分頃 消防により、火災の鎮火を確認
3月20日（土）午前9時頃 警察および消防による現場検証を開始
3月20日（土）午後1時頃 現場検証終了
３．出火元および火災原因
３月20日の警察および消防による現場検証の結果、出火元をN３棟１階のめっき装置と特定しました。出火元となっためっき装置の筐体およびめっき槽は熱への強度が相対的に低く、過電流が発生したことにより発火に至ったものです。ただし、過電流が発生した原因や発火に至った経緯については調査中です。
４．被害状況
人的被害はなく、工場の建屋の被害もありませんでしたが、純水供給装置や空調装置など一部用役設備および一部製造装置に被害が出ています。焼損面積は600㎡でN３棟１階のクリーンルーム12,000㎡の内、約５％に相当し、焼損装置も11台でN３棟の全製造装置の内、約２％に相当します。仕掛品の被害状況については、現時点で不明であり、今後約１週間をかけて確認します。
５．生産・出荷の状況
那珂工場のN２棟（200㎜ライン）およびＷＴ棟（ウェハテストライン）は稼働中であり、製品出荷を継続していますが、現在N３棟は生産を停止しています。N３棟については、今後、取引先や製造装置メーカーなど関係の皆さまのご協力を得ながら、クリーンルーム内の清掃と焼損した装置の調達などを進め、今後１か月以内に生産を再開することを目標としています。
６．代替生産の予定
N３棟の生産品の内、約３分の２が技術的には自社工場およびファウンドリでの代替生産が可能ですが、昨今半導体需給が逼迫していることから、全てが即時に代替生産が可能な状況ではありません。可能な限り早く、また、少しでも多くの製品で代替生産を進められるよう検討してまいります。
７．業績への影響
N３棟が生産を停止することによる売上影響は、月当たり約170億円となります。詳細については現在精査中のため、判明次第お知らせします。
以 上